島津氦質譜檢漏儀的結構組成和保養知識

更新時間：2025-03-19

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　　島津氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。

　　氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里*的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。

　　島津氦質譜檢漏儀的進展：

　　(1)便攜式：zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。

　　(2)高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大系統和有大漏的工件很有益。

　　(3)自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

　　(4)全無油的干式檢漏：有些國家生產的島津氦質譜檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

　　(5)檢漏范圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。

　　島津氦質譜檢漏儀自身保養小知識

　　(1)前級真空泵的定期換油及深度保養；

　　(2)電磁閥組的超聲清洗；

　　(3)質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養維護。

　　島津氦質譜檢漏儀主要配置采用檢漏儀定制產品。設備內芯的制造借鑒*技術，整機設置合理、性能穩定。具有靈敏度高，反應快，開機時間短等特點。